电子/声波显微镜
电子显微镜是现代材料科学的主要分析设备，本中心配备了透射电镜、扫描电镜、原子力显微镜等多种设备。此外本中心还拥有超声波显微镜可以观测材料内部不同区域对声波的反射，从而研究材料特性。
透射电镜
 日本电子JEM-ARM200F |
扫描电镜
 日立SU8010 |
 日立S-4800 |
能谱仪
 日立IXRF |
 日立S-4800 |
扫描探针显微镜
 布鲁克LT-STM-AFM&XPS |
 Bruker Multimode 8 |
声波显微镜
Sonix IncECHO-LS |
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球差矫正透射电镜返回目录 |
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| 品牌型号 | 日本电子JEM-ARM200F |
| 仪器价格 | 14313102.4 |
| 安装年月 | 2016/11/01 |
| 存放地点 | 东校区化学材料大楼, 负一层A010 |
| 联系人 | 宋海利 |
| 联系方式 | songhli@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能无机 |
| 仪器编号 | 2018004811预约网址 |
| 主要参数 u 分辨率：扫描透射像：0.08nm（加速电压200kV） 透射像：0.19nm（加速电压200kV） 能谱仪能量分辨率：136 eV (Mn-Kα) u 加速电压：80, 200kV |
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| 主要功能 获取透射电子高分辨像，选区电子衍射花样，扫描透射原子像（环形高角暗场像和明场像），能量分散谱 |
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| 主要附件 oneview相机，能谱仪 |
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超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010返回目录 |
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| 品牌型号 | 日立SU8010 |
| 仪器价格 | 2526894 |
| 安装年月 | 2015/09/17 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, 负一层A003 |
| 联系人 | 范雅楠 |
| 联系方式 | fanyanan@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | LIFM |
| 仪器编号 | 20168145预约网址 |
| 主要参数 二次电子分辨率： 1.0 nm (加速电压 15 kV、WD=4 mm) 1.3 nm (着陆电压 1 kV、WD=1.5 mm) 放大倍数： 低倍模式，20~2,000×（照片倍率） 80~5,000×（实际显示倍率） 高倍模式，100~800,000×（照片倍率） 400~2,000,000×（实际显示倍率） 电子光学： 电子枪 冷阴极场发射电子枪 加速电压 0.5 ~30 kV（标准模式） 着落电压 0.1~2.0 kV (减速模式) 透镜系统 3级电磁透镜 物镜光阑 可动光阑（加热型），真空外4孔转换机微调 消象散 8级电磁模式（X、Y） 扫描线圈 2级电磁偏转模式 |
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| 主要功能 二次电子模式 背散射电子模式 |
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| 主要附件 无 |
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| 品牌型号 | 日立S-4800 |
| 仪器价格 | ￥2,512,111.01 |
| 安装年月 | 2009/01/01 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, 负一层 |
| 联系人 | 曾春莲 |
| 联系方式 | ceszcl@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台 |
| 仪器编号 | 20105084预约网址 |
| 主要参数 1、分辨率：1.0nm (15kV)，2.0nm (1kV)，1.4nm(1KV，入射电子减速功能) 2、标称放大倍率：×25 ~ ×800,000，有效放大倍数×300 ~ ×200,000 3、加速电压：0.1 ~ 30kV 4、束流强度：1pA~2nA 5、能谱分辨率/有效面积：不低于133eV/10mm2 6、分析元素范围：Be4-U92，具有点、线、面分析功能 |
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| 主要功能 主要用于金属材料、非金属材料、纳米材料、半导体材料与器件等方向的研究。可以进行样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察，配有能谱分析仪，可进行元素的定性和半定量分析。 |
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| 主要附件 X射线能谱仪： 分辨率/有效面积：不低于133eV/10mm2 分析元素范围：Be4-U92 具有点分析、线分析、面分析功能,具有谱图匹配和谱图合成功能。 |
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| 品牌型号 | 日立IXRF |
| 仪器价格 | 150000 |
| 安装年月 | 2015/09/17 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, 负一层A003 |
| 联系人 | 范雅楠 |
| 联系方式 | fanyanan@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | LIFM |
| 仪器编号 | 预约网址 |
| 主要参数 分辨率：优于133eV，具有点、线、面分析功能。 |
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| 主要功能 EDS测试（与扫描电镜SU8010同步测试，不单独测试） |
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| 主要附件 无 |
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| 品牌型号 | 日立S-4800 |
| 仪器价格 | 0 |
| 安装年月 | 2023/07/01 |
| 存放地点 | - |
| 联系人 | 曾春莲 |
| 联系方式 | ceszcl@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台 |
| 仪器编号 | 预约网址 |
| 主要参数 | |
| 主要功能 | |
| 主要附件 | |
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超高真空原子力扫描探针系统返回目录 |
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| 品牌型号 | 布鲁克LT-STM-AFM&XPS |
| 仪器价格 | 5861469.6 |
| 安装年月 | 2020/03/01 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, 负一层 |
| 联系人 | 宋海利 |
| 联系方式 | songhli@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能无机 |
| 仪器编号 | 2019022788预约网址 |
| 主要参数 横向分辨率达到0.1nm，纵向分辨率可达0.01nm |
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| 主要功能 观察样品表面原子分辨率的结构信息，直接观测单个分子及其分子之间的键合力。 |
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| 主要附件 XPS |
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扫描探针显微镜（Bruker）返回目录 |
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| 品牌型号 | Bruker Multimode 8 |
| 仪器价格 | 2115808 |
| 安装年月 | 2016/10/01 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, 负一层 |
| 联系人 | 黄爱萍 |
| 联系方式 | ceshap@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台（材） |
| 仪器编号 | 20134749预约网址 |
| 主要参数 1. 形貌分辨能力 XY：0.2nm, Z： 0.01nm（可实现原子级分辨）； XY 扫描电压/分辨率：±200V/48 bit，Z轴扫描电压/分辨率：±200V/48bit； |
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| 主要功能 轻敲模式成像、接触模式成像、ScanAsyst成像、力曲线、磁力成像、导电TUNA等。 |
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| 主要附件 | |
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超声波扫描显微镜返回目录 |
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| 品牌型号 | Sonix IncECHO-LS |
| 仪器价格 | 859708 |
| 安装年月 | 2013/11/01 |
| 存放地点 | 广州校区东校园化材楼, A117 |
| 联系人 | 黄爱萍 |
| 联系方式 | ceshap@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能无机 |
| 仪器编号 | 20147074预约网址 |
| 主要参数 LS1..X/Y轴有效扫描范围不小于310mmX310mm，Z轴移动范围大于50mm； 2．可用检测模式：包括反射式扫描（A扫描，B扫描，C扫描，TAMI扫描）、 透射式扫描（T扫描）和三维立体成像； 3．最大扫描速度为1000mm/s； 4．适用于5－300兆赫兹的传感器； 5．图像像素6千万像素以上； 6．保存图像格式为TIFF、PCX、JPG和BMP等。 |
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| 主要功能 1.工作原理: 利用波的折射及反射原理检验产品内部是否有裂痕、分层、气泡等缺陷。 仪器发射一个超声波信号至样品，若样品内部结构匀均,则仪器接受到的反射及折射信号组成一个完整的样品形态，若样品内部有缺陷则折射信号减弱，显示出产品颜色差异。 2.主要功能: 仪器可给样品提供各种超高频的可分析图像，为产品或材料在无损的情形下进行内部缺陷的查找，或对材料内部均匀性进行判别，广泛 应用于实验室的新材料开发研究工作，以及半导体工厂的大规模生产的产品在线检验。 3.用 途: (1).材料领域：陶瓷、玻璃、金属、粉末金属、塑料、复合物； (2).微电子学领域：塑料封装IC、陶瓷电容器、模片固定、载芯片板（COB）、芯片型封装（CSP）、倒装晶片、堆叠型封装、卷带式自 动接合（TAB）、混和技术、MCM、SIP、柔性电路、印刷电路板（PCB）、智能卡、粘结晶片、IMEMS； (3).微电子机械系统 (MEMS)：制造工艺评估、包装； (4).军事/航空/汽车：高可靠性资格筛选、产品升级筛选、资格筛选。 |
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| 主要附件 无 |
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